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地址：海口市港澳开发区D区100厂房PI精密六自由度应用真空环境经典案例
在ANKA同步辐射装置（卡尔斯鲁厄，德国）的NANO光束线中，同步辐射的X-射线衍射和反射可用于研究薄膜在真空条件下的结构属性，这也是现代材料研究的一部分。
为了在光束线中直接使用，开发了一体化系统，其中脉冲激光用于将固体靶材带到气相中，然后使其沉积作为衬底上的一层。光束线PLD系统的特点是激光加热（可将衬底加热至1200摄氏度）以及简便加载。一个特殊特征是：由于样本操纵器的尺寸小，即使衬底高度较低，也可实现X-射线的较宽角度范围。
PI六自由度应用同步光束进行脉冲激光沉积(PLD)原位表征
在同步光束进行脉冲激光沉积(PLD)原位表征中，由PI设计的用于高真空的精密六自由度平台可相对于入射X-射线定位样本，即10 毫米 × 10 毫米的衬底，使样本可以0.001度的分辨率绕X和Y轴倾斜±5度。此外，为了补偿层厚度差，它可沿Z 轴（即垂直于样本表面的方向）进行移动，最大移动量为3毫米。同时，系统沿X和Y轴方向的移动量可达 ±6毫米，从而可以扫描到 样本表面的不同位置。精密六自由度固定在转台上，需要时可执行进一步的定位任务。
在瑞典MAXlab的储存环MAX II处，光束线I811专用于通过X-射线吸收光谱进行材料科学研究以及表面科学X-射线衍射实验。
PI精密六自由度为X-射线衍射实验定位真空室
提供一个多用途衍射仪用于表面、界面、薄膜和一般X-射线散射实验。一个H-850（之前为M-850）标准精密六自由度平台安装在衍射仪上，用于将真空室与光束中的样本对准。由于其具有六个自由度，可在任意方向上定位20至50千克的真空室，且重复精度小于1微米。
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此文关键词：PI六自由度,真空六自由度
